LED襯底CMP材料整體解決方案
SAPOL拋光液：適用于藍(lán)寶石、陶瓷、鉭酸鋰、玻璃等非金屬材料CMP的拋光液。
COPOL拋光液：適用于化合物半導(dǎo)體CMP的拋光液。
無(wú)紡布拋光墊：通常被使用于粗磨或中磨，具有一定程度的平坦性和平滑性。
阻尼布拋光墊：通常被使用于高平滑性，低欠陷性的精磨工序。
固態(tài)蠟： 粘結(jié)牢固，無(wú)氣泡或高低不均等不良，可解決加工過(guò)程中因粘結(jié)造成的裂片等問(wèn)題。
吸附墊：將工件黏附在制具上，潤(rùn)濕后特殊微孔吸附住工件，使工件在加工過(guò)程中固定不脫落。
